Semiconductor equipment system
钻石修整器(CMP Pad Conditioner or Diamond Disk)是一种专门用于修整和维护研磨垫的工具。而我们使用单晶钻石为磨料,主要功能是利用钻石的硬度来对研磨垫进行精确的修整,以保持研磨垫的平整度和切削性能。研磨垫在长时间使用后,可能会因为磨损而变得不平整或失去切削能力,这时就需要使用钻石修整器来进行修整。
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